九如之頌：台積電砸千億台幣採購30台EUV設備

鈕祜祿鬼隱

台積電砸千億台幣採購30台EUV設備　遠勝三星總量不到20台
為就近服務最大客戶台積電，全球半導體微影技術大廠ASML籌備逾1年、座落於台南科學園區的「EUV全球技術培訓中心」正式上路。ASML總經理陳文光表示，此中心耗資1,350萬歐元建置，將為ASML和客戶培育360位EUV技術工程師。

據了解，ASML亦於南韓設有EUV技術培訓中心，台積電近年累計採購EUV設備近30台，已成ASML最大客戶，因此ASML南科培訓中心規模目前優於南韓，在台投資、EUV技術設備支援與相關人才培育不停歇。

已正式啟用的EUV全球技術培訓中心，佔地1,625平方公尺，配備實機模組(live module)，提供技術理論課程和無塵室實機操作課程等培訓內容，目前配置14位講師，估計每年可提供數千小時的課程，為ASML和客戶培育360位EUV技術工程師。

陳文光指出，2017年ASML交付第一台量產型EUV微影系統TWINSCAN NXE:3400給台積電；2010年提供第一台EUV微影設備原型機給台積電進行研發，為全球微影技術開創新紀元。至今台灣EUV裝機規模領先全球，ASML在台南成立EUV全球技術培訓中心，更實現全力支援客戶先進製程開發與量產的承諾。

ASML客戶支援全球執行副總裁Wayne Allan亦表示，ASML預期亞洲的EUV裝機量將持續成長。將EUV全球技術培訓中心設置於亞洲，將可讓客戶以最精省的成本和時間培養所需的EUV工程師來支援先進製程開發與量產。

Allan進一步指出，將一個新手工程師培育成為技術熟稔、可獨自作業的EUV工程師需歷經18個月的訓練。過去全球的EUV工程師，都必須前往ASML荷蘭總部接受長達數月的培訓，隨著疫情增添許多限制與不確定性，因此位於台南的EUV全球技術培訓中心為台灣ASML與客戶提供了相對安全且經濟的培訓方式。除了台南，ASML另於南韓設有EUV技術培訓中心，提供EUV基礎訓練課程。

據了解，目前台積電光是要價逾1.2億歐元的EUV設備，已累計採購30台，以5/3奈米製程為主的南科據點共約20多台，隨著2奈米已投入研發，採購手筆持續擴大。對比之下，三星電子(Samsung Electronics)晶圓代工採購EUV設備總量不到20台，英特爾(Intel)近年因10奈米以下製程延遲，採購手筆不及台積電、三星。

值得注意的是，由於美國全面封殺華為，也使得中芯等中國大陸晶圓廠有錢也買不到高階設備，ASML在未獲得荷蘭政府同意前EUV設備無法登陸，中芯恐將就此停留在14奈米製程世代，與三星、台積電製程技術實力將持續擴大，半導體產業自主化大計進展將明顯放緩。

而在中國半導體產業鏈遭美國鎖喉下，ASML未如預期能承接中國業者鉅額釋單，近年營運成長關鍵動能只能仰賴三星、台積電與英特爾所驅動，最大客戶則為製程領先的台積電。

ASML第2季淨銷售額33.26億歐元(約38.18億美元)、季增逾35%；淨收入7.51億歐元季增近1倍、年成長也達近58%。ASML預期，第3季毛利率將介於47~48%，營收為36億~38億歐元，優於市場預估34.2億歐元，營運能力回復正常水平，2020年將會是正成長的一年。
來源：全部文章，係屬於大椽股份有限公司所有/陳玉娟報導

心得：所以一直以來是Asml/SUV設備在主導半導體產業嗎？
嗯…感覺荷蘭半導體產業不輸美國

鈕祜祿鬼隱

所以製程要領先才能買吧？不然放著給對手破解技術嗎？